單晶爐是一種在比較惰性氣體環境中,用石墨加熱器將多晶硅的等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶爐型號有兩種命名的方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號是由裝料量來決定的。單晶爐的構成主要包括:
提拉頭:主要由安裝盤減速機籽晶腔劃線環電機磁流體籽晶稱重頭軟波紋管、
導電滑環等其他部件組成
副室:主要是副室筒以及上下及法蘭組成
爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗抽真空管道組成
爐筒:包括取光孔
下爐筒:包括抽真空管道
底座機架:主要是全鑄鐵機架和底座
坩堝下傳動裝置:主要由磁流體電機坩堝支撐軸減速機軟波紋管立柱上下傳動支撐架導軌等部件組成
分水器已經是水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管水管卡套等
氬氣管道布置:質量流量計3根以上的柔性管不銹鋼管3個壓力探測器高密封性卡套等部件
真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵水環真空泵過濾器真空管道硬波紋管等
電源以及電控柜:電源柜濾波柜控制柜以及連接線。
導電滑環作為單晶爐上一個重要的零配件,也起著非常重要的作用。導電滑環是用于提拉頭信號傳輸及電源供給的,通過360°的旋轉來傳遞電流及信號。所以一旦導電滑環出現故障,提拉頭信號就無法正常傳輸,就會導致單晶爐無法正常運作。